Volframa disilicīda pulveris

Volframa disilicīda pulvera apraksts

Volframa silicīds (WSi2) ir neorganisks savienojums, volframa silicīds. Tas ir elektriski vadošs keramikas materiāls.

Volframa silicīda pulveris parasti ir uzreiz pieejams lielākajā daļā apjomu. Var apsvērt īpaši augstas tīrības pakāpes, augstas tīrības pakāpes, submikronu un nanopulvera formas.

Mikroelektronikā kā kontaktmateriāls tiek izmantots volframa silicīds ar pretestību 60–80 μΩ cm; tas veidojas 1000 grādos. To bieži izmanto kā šuntu pār polisilīcija līnijām, lai palielinātu to vadītspēju un palielinātu signāla ātrumu. Volframa silicīda slāņus var sagatavot ar ķīmisku tvaiku pārklāšanu, piemēram, izmantojot monosilānu vai dihlorsilānu ar volframa heksafluorīdu kā avota gāzi. Nogulsnētā plēve nav-stehiometriska, un tai ir nepieciešama atkausēšana, lai pārveidotu vadošā stehiometriskā formā. Volframa silicīds ir agrāko volframa plēvju aizstājējs. Volframa silicīdu izmanto arī kā barjeras slāni starp silīciju un citiem metāliem, piemēram, volframu.

Volframa silicīds ir vērtīgs arī izmantošanai mikroelektromehāniskajās sistēmās, kur to galvenokārt izmanto kā plānas plēves mikromēroga ķēžu izgatavošanai. Šādiem nolūkiem volframa silicīda plēves var iegravēt plazmā{0}}, izmantojot, piemēram, slāpekļa trifluorīda gāzi.

WSi2 labi darbojas kā oksidācijas -izturīgs pārklājums. Konkrēti, līdzīgi kā molibdēna disilicīds, MoSi2, volframa disilicīda augstā izstarojuma spēja padara šo materiālu pievilcīgu augstas temperatūras starojuma dzesēšanai, kas ietekmē siltuma vairogus.

Volframa disilicīda pulvera lietojumi un saistītās nozares

● Kontaktmateriāls mikroelektronikā

● Šunts pār polisilīcija līnijām, lai palielinātu to vadītspēju un palielinātu signāla ātrumu

● Ķīmiskā tvaiku nogulsnēšanās

● Iepriekšējo volframa plēvju nomaiņa

● Barjeras slānis starp silīciju un citiem metāliem (piemēram, volframu)

● Mikroelektromehāniskās sistēmas

● Oksidācijas{0}}izturīgi pārklājumi

● Plazmas{0}}gravētas plēves

● Pētniecība un laboratorija

● Materiālzinātne

● Plānās plēves nogulsnēšana

● Pārklājums

Ķīmiskie identifikatori

Volframa disilicīda īpašības (teorētiskās)

Populāri tagi: volframa disilicīda pulveris, Ķīna, piegādātāji, pirkt, pārdošanai, ražots Ķīnā